二手 SEMITOOL 840S #84177 待售

SEMITOOL 840S是為滿足當今半導體行業的需求而設計的光刻設備。該系統旨在提供最高的光敏處理精度和精確度,並以最小的停機時間提供高性能結果。840S具有直觀、用戶友好的界面,便於控制設備並改進配方管理。該機包括具有集成微洗滌器和多軸晶圓傳遞臂的拋光平臺，可重復精度和晶圓定位。該工具配備了Peltier冷卻資產,以減少熱漂移,並在高溫下處理時保持模型性能。SEMITOOL 840S光刻設備采用多波長激光系統，對光刻過程提供精確控制。這一單元包括一個長波和短波激光器，具有獨立的控制在不同的波長圖案的光敏。該機還具有一個Bosch工藝模塊，它提供了嚴格的位置精度和過程變量，以實現最佳的光刻圖樣結果。840S設計具有內置的安全功能,以確保結果一致。該工具配備了大氣控制資產（ACS），該資產在模型內部保持清潔的空氣環境，以防止灰塵和碎片在晶片上收集。此外，光致抗蝕劑設備還有一個輻射控制系統（RCS），用於監測激光輻照度並限制輻射擴散。SEMITOOL 840S具有先進的軟件命令語言（SCI）,便於遠程監視和控制光刻裝置。SCI允許輕松訪問數據收集和分析、改進配方管理以及警報通知功能。此外，這臺機器能夠執行100多個預先編程的配方。840S是任何半導體制造設施的絕佳光刻工具。憑借其高精度、精確度和可重復性，用戶可以放心，他們的晶片將滿足最嚴格的行業規範。用戶友好的界面和廣泛的安全功能使SEMITOOL 840S成為任何光刻加工作業的安全可靠的選擇。