二手 SEMITOOL 840S #9088736 待售

SEMITOOL 840S光刻設備是為提供半導體晶圓和其他基板的超精確光刻加工而設計的先進設備。它提供了一套廣泛的功能,可實現高性能、一致的制造技術。840S是一種直接驅動、高架自動塗層和開發解決方案,能夠支持各種光刻膠應用。其優越的工程降低了局部可變性，使半導體晶片的加工直徑從3英寸到12英寸。它直觀、用戶友好的設計簡化了安裝、操作、使用和維護,而堅固的材料和結構確保了未來幾年的耐用性和可靠性。SEMITOOL 840S Photoresist System包括一個掩蔽裝置、一個內置的發電機、真空控制器、濕板凳和一個功能強大的軟件套件來操作整個組件。此用戶友好單元允許技術人員在手動處理所需時間的一小部分內對光刻膠處理步驟進行編程或調整。加工步驟包括自動模式識別、幹濕自旋塗層、預烤、曝光、後烘烤、開發、抗剝離、去渣等。840S還包括一整套診斷程序,以確保大多數抗蝕劑材料中的最高工藝性能,包括處理負性和正性抗蝕劑的能力,以及選擇介於中間或蒸發自旋塗層的選項。為確保晶圓產量最大，可見、紫外線和紅外成像用於檢測缺陷或汙染。此功能還有助於即時識別和糾正問題。此外，SEMITOOL 840S的設計考慮到安全性，提供了多達四個集成的安全傳感器，可以檢測晶圓的存在，以及防止晶圓掉落或超壓。最後,計算機有一個多級服務計劃作為後盾,該計劃根據需要提供技術幫助。840S光敏工具是專業半導體制造的可靠高效的解決方案。