二手 SEMITOOL 860 #9265750 待售

SEMITOOL 860光刻設備是一種功能齊全的電化學沈積系統，用於CMP、沈積和蝕刻工藝。它旨在提高需要精確、高分辨率光敏層的工藝的質量和吞吐量。它能夠產生均勻、光滑的光致抗蝕劑層，不需要手動清洗或沈積後清洗步驟。這是通過使用浸入式儲罐單元實現的，該單元提供了一個清潔環境，以優化潤濕、平整和表面均勻性。該機具有自動實時檢測和補償功能，可掃描基板並優化工藝參數，以確保均勻的光刻塗層。這確保了一致的結果，無論不同的基材類型。該工具還具有兩步旋轉塗層鹵化銀光刻膠（90°-180°）和單步旋轉塗層噴塗光刻膠。這樣可以在選擇應用程序的最佳光刻膠類型時提供更大的靈活性。860包括一個計算機控制的流程開發中心,用於快速、輕松地對新流程進行原型設計和表征。它利用強大的圖形編程界面快速輕松地配置詳細的過程指令以實現全自動操作,從而為其他重要任務騰出時間。綜上所述，SEMITOOL 860是一種功能強大、用戶友好的光刻膠資產，旨在生產質量一致、吞吐量最大的高分辨率光刻膠層。其先進的特點使其成為要求苛刻的CMP、沈積和蝕刻工藝的理想解決方案。