二手 SEMITOOL 860 #9265751 待售

SEMITOOL 860是一種光刻設備，旨在實現用於制造半導體器件的光刻應用。該系統由光掩模對準器、自旋顯影器、洗滌器和軌道四個不同的組件組成。光掩碼對齊器由一個光學工具組成，它可以讀取、對齊和投射圖樣到晶圓上。它能夠精確到1um的讀取模式,並具有用戶可調節的模式定義和曝光時間。860的自旋顯影劑特性利用離心力快速準確地將抗蝕膜層沈積到晶片表面上。這提高了工藝速度和準確性,同時還節省了高容量和低容量應用的材料。洗滌器便於在開發過程中從晶片中去除多余的光敏材料。洗滌器配有刷筒，用於軟刷清洗，槳輥，用於更積極的清洗。兩者都使用靜電場來吸引和去除不需要的材料。單元的最後組成部分是軌道。軌道設計用於監測和控制光刻過程。它由一系列傳感器和電子元件組成，跟蹤晶圓的運動、時間、溫度和其他參數，以最大限度地提高工藝效率和精度。總之，SEMITOOL 860是一種高效可靠的光刻機，能夠在高速、精確的情況下實現高效的光刻。它為用戶提供了一整套組件,有助於高效生產和節省成本。