二手 SEMITOOL 860F #84179 待售

SEMITOOL 860F是一種光刻設備,主要用於制造半導體器件.該系統包括一個光頭和一個定制的機械臂，用於精確控制面罩和基板的放置，從而實現極小和復雜圖案的均勻和高效的光刻塗層。該機組還提供多種選擇，包括四級冷卻盤和加熱溶劑盤，以及旋轉塗層、噴塗塗層，以及晶圓溫度、壓力和其他可變條件的實時監控。860F機器可以支持甲基異丁基酮（MIBK）和2-Methylisobutylketone（MIBK II）等溶劑工藝，以及聚酰亞胺、聚氨酯、氧化矽溶液等高固體體系。該工具還提供先進的噴塗技術，如靜電、變化的噴嘴孔大小、均勻的流動和低氣溶膠形成。這種精確的控制允許可靠的塗覆難以塗覆的特性,例如可滲透的接觸層,以及陣列化的小特徵和電路結構,例如SRAM記憶體。此外,SEMITOOL 860F還具有一個低k值分配器,可提高流程均勻性,其高級控件可輕松優化流程。該資產還支持從0.18 um到5 um的功能大小,從而無需手動對齊掩碼。860F具有兩級烤箱、可調氣體凈化和低ESD結構等安全特性,是可靠、安全的光刻工藝工具。綜上所述，SEMITOOL 860F是一種健壯的光刻膠模型，旨在實現經濟高效、可靠和高分辨率的復雜圖樣和細膩特征圖樣，適用於最先進的半導體制造工藝。