二手 SEMITOOL 860S #133030 待售
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ID: 133030
Spin Rinse Dryer (SRD)
PSC 101 controller
Servo motor, brushless
Can configure tool with anti-static
DI water resistivity option included
Water recirculation option included
New rotors are available (2 are needed).
SEMITOOL 860S是為光刻工藝設計的光刻設備解決方案。該產品用於半導體行業,用於制造電路板、LED芯片和其他集成電路組件。該系統能夠快速高效地處理大量的光刻膠。860S單元由兩個關鍵部件組成,一個是旋轉工藝罐,另一個是頂置沈積機。該工藝罐裝有噴槍、擦洗棒和真空噴射器,以幫助操縱坦克內的光刻膠。它還有一個自動清潔循環,以防止光刻膠受到汙染。架空工具使用生成射流沈積工藝將光致抗蝕劑沈積到基板上。射流允許光刻膠沿著基板的均勻定位。資產還包括帶有觸摸屏顯示和集成軟件模型的控制界面。這允許用戶精確監控光刻膠過程,以獲得所需的結果。界面還收集設備反饋,以更新工藝參數和跟蹤結果。SEMITOOL 860S系統提供高產生產率和優良的均勻性.由於加工罐的組件是就地組裝的,因此也需要最少的模具。該單元還被編程為遵循針對特定產品要求的預定義配方。此外,860S易於維護,因為所有組件都可以獨立監控,並保持在最佳工作狀態。它也由耐腐蝕材料構成,並有一個完全封閉的防塵蓋。機器可以與其他SEMITOOL系統連接,以增加復雜性和能力。總體而言,SEMITOOL 860S是一種功能強大且高效的光刻工具,廣泛應用於半導體行業。這一資產提供了一種一致和優化的光敏溶液,能夠產生高產和均勻的沈積物。860S具有直觀的用戶界面和自動化的過程,是光刻的可靠工具。
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