二手 SEMITOOL 860S #151778 待售

SEMITOOL 860S是一種光刻加工設備,可為各種半導體制造應用提供快速、準確和可靠的光刻技術。該系統包括精密機動化晶片級、閉環溫度控制和光阻優化功能。860S具有大型600 X 800mm精密面板底座和大型鋁制散熱器、真空卡盤單元和精密電動晶片級。Cambridge ESI 4560高級控制器處理過程參數和數據的控制、監視和顯示。UMPC的動態伺服控制保證了過程的穩定和高吞吐量。SEMITOOL 860S采用閉環溫度控制設計,提供準確、可重復的過程溫度.熱力計和熱電偶組成的陣列能夠實時監測晶圓溫度，以確保過程的可重復性。IRBAPF10向電動晶片級提供光學反饋,以實現精確的晶片調平和對準。機器的高級自動化提供了進一步的工藝優化,包括自動預塗層、塗層輪廓和抵抗條形輪廓。先進的基板處理程序也被用於晶圓處理和分類。該工具還能夠實現護理和維護自動化,以確保長期可靠的性能。860S是半導體制造工藝中光刻應用的絕佳選擇，因為它的精度、速度和精確度。SEMITOOL 860S具有一系列的過程控制特性和自動化工具，被證明是一種可靠、準確、經濟的半導體抗蝕劑處理選擇。