二手 SEMITOOL 860S #16794 待售

SEMITOOL 860S Photoresist Equipment是一個全自動的卷到卷濕處理系統。它專為大批量生產具有更精細幾何形狀的半導體器件而設計，需要精確和可重復的工藝。860S單元以模塊化平臺為基礎,可將多種處理方式集成到一臺機器中,包括「帶狀、清潔、旋轉/移除和幹燥」過程,為需要大量吞吐量的應用程序提供高效、經濟高效的解決方案。該工具包括不銹鋼皮帶輸送機、手動或光學對準、「網狀或圍裙」隔板，以及由工藝控制單元、軟件、泵、罐和過濾器組成的主模塊。資產中還有一個額外的「烘幹機」模塊。該單元允許使用車載傳感器和自動控制實現全過程自動化。該模型還具有隔離處理、批處理模式設置以及各種基板和工藝組合的可編程設置。SEMITOOL 860S設備旨在優化和控制剩余光刻層蝕刻和/或沈積過程。該系統可配置為準確運輸和精確對齊底物，並在底物的所需區域上準確分配所需的化學物質。該單位利用低化學量，減少成本和浪費。機載傳感器提供實時控制和監測，以調整化學濃度和參數，從而實現最佳工藝結果。860S機器為生產半導體器件提供了光刻加工的可重復性和可靠性。通過對基材進行高速率的加工,以及方便的維護和支持,可以節省成本。