二手 SEMITOOL 860S #9265752 待售

SEMITOOL 860S是一種具有高性能、靈活性和可靠性的光阻剝離和塗層系統。它旨在滿足高端半導體行業的需求。該系統提供了一整套功能和特性,包括出色的空間一致性、高吞吐量、出色的正常運行時間、易於維護以及與其他系統的集成。860S的主工藝室容積近800升，有助於在等離子體室中提供出色的均勻性。腔室設計為在所有四個側面都有絕緣，這有助於確保腔室內的溫度均勻。這反過來又允許抗蝕層在基板上的應用一致。該腔室的設計還允許精確和一致的壓力控制，這有助於確保快速和準確地進行這些過程。SEMITOOL 860S有一個板載抵抗帶工作站，以便在制造過程中方便高效地去除困難的光刻膠。其先進的雙頭剝離機理使用了氧化物溶劑，旨在減少對底物的損害。它還具有內置的旋轉塗層站，用於快速應用抗蝕層，從而實現精確的均勻性和高通量。該系統具有用戶友好的界面和直觀的圖形控件,可幫助簡化設置和運行所有進程的過程。860S還可以很容易地與其他系統集成,從而方便自動化和連接。總體而言，SEMITOOL 860S是高端半導體行業光刻塗層和剝離需求的理想解決方案。憑借出色的均勻性、高吞吐量和用戶友好的界面,它提供了許多優勢,任何半導體制造商都難以利用這些優勢。