二手 SEMITOOL 870 #84266 待售

SEMITOOL 870是專為先進半導體應用而設計的高性能光刻設備。光致抗蝕劑是一種化學材料，暴露在光線或其他形式的輻射下，以形成圖樣或其他結構。870提供高效、準確的光敏膠片處理。SEMITOOL 870系統具有優異的光刻加工精度和可重復性.其三軸級提供了極為精確的基板和光致抗蝕劑的定位和運動，使得快速，均勻的覆蓋與最高級別的工藝控制。該單元允許使用多種處理技術,並為每個進程提供自定義控制參數。用戶友好的圖形界面支持和簡化配方的編程。其六室設計提供了冗余的安全冗余，並增加了用於維護和高級處理的氣體類型。其先進的UV光源以極低的雜光水平提供優化的圖像和圖樣質量。870使用先進的軟件提供精確、可重復的光掩碼，精確匹配設計布局。該機還具有較高的吞吐量和與多個基板同時工作的能力。SEMITOOL 870是高精度、復雜的光敏處理的理想解決方案。它提供了快速、可靠的光刻膠片處理和精確的控制模式參數和曝光時間。高吞吐量和精確的生產周期可在最小的停機時間內提高產量和降低成本。870具有先進的功能和堅固的結構，是半導體光刻膠應用的絕佳選擇。其精確的控制、較短的周期時間和較高的吞吐量，使其成為光刻膠加工的可靠高效的解決方案。