二手 SEMITOOL 870 #9139664 待售

SEMITOOL 870光抗蝕劑設備是一種高效可靠的工具，用於在包括金屬、陶瓷和矽在內的一系列基材材料上進行蝕刻和制圖。該系統配備了可靠、無維護的10英寸溫控拼盤,具有反應性離子蝕刻（RIE）功能。870利用反應性氣體的組合，在具有電場和磁場的材料中蝕刻光致抗蝕劑圖樣，從而在蝕刻過程中具有顯著的精度和速度。非接觸式物理氣相沈積（PVD）裝置能夠加強對抗蝕劑掩模沈積的時間和密度的控制。SEMITOOL 870可以處理多種基材，包括NiFe、SiC、Nb、Ti，使其適合廣泛的應用。870還配有內置的可編程控制器，具有6個可編程區域和多達6個用戶定義的配方。它具有將盤片的某些部分重新加熱到所需溫度的能力，以實現快速的過程重復性。SEMITOOL 870的精確度進一步提高，采用了熱機械增強的機械分配閥，提供了可靠的分配性能，並提供了最小數量的噴射到噴射變化。該機還擁有各種選項，如自動口罩轉移和裝載、高度可配置的蝕刻和光刻電鍍配方、連續氣流監測、激光計量和排水槽，以及一個最多可容納10個容器的堅固的防腐層。可以使用包括金屬和矽酸鹽基抗蝕劑在內的各種抗蝕劑材料，消除了多應用過程更換抗蝕劑的需要。此外,870的快速對齊功能確保基板與基板對齊時間保持最小。SEMITOOL 870是一款經濟高效、可靠且先進的光刻工具,可支持廣泛的制造過程,使其成為尋找高質量蝕刻資產者的絕佳解決方案。