二手 SEMITOOL 870 #9265753 待售

SEMITOOL 870光刻設備是用光刻材料加工晶片的自動化平臺。光致抗蝕劑是一種應用於晶片表面的化學塗層，對光敏感，可用於將光刻圖樣傳遞到晶片表面。870光刻系統具有精確的光刻工藝，具有很高的精度和生產率。它有一個氦自旋塗層，用均勻的光刻材料塗覆晶片。自旋塗層采用軟件可配置的自旋速度和溫度控制配方設計,以實現統一的工藝結果。該設備的精密塗層和均勻厚度消除了標準化過程的需要，增加了吞吐量。SEMITOOL 870具有電動XY蜘蛛工藝板，在旋轉塗層過程中精確對準和控制晶圓。該機器還包括一個低應力的光掩模對準器，分辨率高達50納米，用於在晶圓表面上精確和可重復地對準光掩模和硬掩模。該工具提供了可編程的溫度控制和過程監控與單一視圖過程配方，簡化了操作員交互。內置幹泵設備無需單獨的真空發生器，無需手動更換曝光盒和口罩。還包括一個空間濾光片，該濾光片簡化了光源趨勢的獲取，並確保晶圓上的光照始終均勻，同時最大限度地減少了整個表面的陰影步進。870設計用於生產過程的可靠控制和靈活性。該模型適用於任何抗蝕劑類型的各種晶圓尺寸和厚度,可以快速適應新的工藝配方變化,而無需重新校準。設備設計易於維護，部件更換簡單整齊。通過配置多個流程監控工具,操作員可以快速檢查和驗證流程條件。SEMITOOL 870非常適合任何需要精確和可重復生產的光刻膠生產工藝。以統一的工藝和高精度，870努力提高生產率和制造產量。因此，它是光刻膠生產的一個有價值的工具。