二手 SEMITOOL 870D #84759 待售

SEMITOOL 870D是一種專為加工半導體晶圓而設計的光刻膠系統。它非常適合於介電蝕刻、光致抗蝕劑剝離和晶片清洗工藝，並在半導體工業中用於這些應用。870D為廣泛的應用和工藝提供高性能的解決方案,從積極的蝕刻到精密蝕刻。SEMITOOL 870D配備了幾個關鍵特性，包括兩個獨立的工藝模塊，加熱PC控制的晶片卡盤，加熱PC控制的樣品盤，UV泛光燈輸入，惰性氣體輸入，閉環過程控制。870D使用加熱的PC控制晶片卡盤,以確保均勻的加熱和蝕刻分布,並最大程度地減少顆粒汙染。加熱後的樣品盤確保光致抗蝕劑均勻地塗在晶片上。這樣可以確保較高的鎖存率和長寬比,並減少缺陷的形成。紫外線泛光和燈用於在蝕刻前激活光刻膠。此外，SEMITOOL 870D有惰性氣體輸入，以改善收集和減少汙染。870D能夠提供可選的蝕刻速度和均勻的蝕刻以提高制造產量。此外,SEMITOOL 870D具有閉環過程控制功能,包括板載能量監控、實時過程監控、蝕刻後分析和即時校正等工具,以確保準確、可重復和可靠的處理。這些數據可用於確保進程在所有必要參數之內。870D提供了最新的半導體技術，是一個高能力的光刻系統。SEMITOOL 870D的高級特性和功能確保了可靠高效的工作流,並可以提高流程吞吐量和產量。閉環過程控制還為確保過程的完整性提供了強大、準確的解決方案,使870D成為半導體制造的理想解決方案。