二手 SEMITOOL 870F/L #9266741 待售

SEMITOOL 870F/L是一種光刻膠設備,設計用於提供光刻膠的精確塗層和開發.它非常適合各種應用，包括半導體和顯示器。該系統具有兩級密度計、集成光阻制圖單元、可編程噴霧和處理參數以及均勻基板覆蓋的自動速度控制等先進功能。機器可以在整個基板上提供3.5%均勻性的最大性能。該工具帶有兩個加工室-前室（噴霧室）和後部層流室（帶狀室）。在噴霧室中，使用雙面噴霧臂將光敏材料均勻地輸送到基板的兩側。然後，液滴通過兩個獨立操作的旋轉器，對每個應用程序進行微調。這有助於在整個基板上實現最佳的光致抗蝕層均勻性。帶狀室用於為基板提供均勻的光致抗蝕層清潔。該腔室采用層流技術，可確保光刻膠層的精確去除。腔室配有高精度噴嘴，使所有基板的蝕刻深度都合適。這一過程也是高度可重復的，確保了高度準確的結果。870F/L光刻膠資產還包括一套先進的特性，以確保其可靠性和有效性。該模型包含一個可靠的密度計，允許精確測量光刻膠層厚度。此外，集成制圖設備有助於準確檢測和跟蹤光刻膠層上的缺陷。這有助於確保最高質量和可重復的生產標準。SEMITOOL 870F/L光刻膠系統是一種先進可靠的設備，為光刻膠處理提供了高效的解決方案，非常適合各種應用。該單元包含的特征組合使其能夠傳遞均勻的光刻材料層、精確的清理過程以及對層厚度的精確測量。這確保了這一進程保持準確和一致。