二手 SEMITOOL 870F #151768 待售

SEMITOOL 870F是一種光刻設備,旨在為高精度光刻工藝提供高通量和高時效。它能夠處理大型基板，並為要求最苛刻的光刻應用提供專業質量的結果。該系統采用模塊化設計,允許更靈活地使用該工具。該機組的主要優點之一是維護要求極低。該機器設計為以全自動模式運行,安裝時間最短,無需手動幹預,從而提高了吞吐量並節省了成本。870F工具配備了一個大直徑的軌道，具有曲折的軌道路徑和多個停靠點。該軌道的設計目的是盡量減少基板傳輸時間，同時提供強大的加速和減速。性能優化的電動機可確保加載和卸載過程中的運動準確且可重復。該臺設計用於精確定位行進距離可達600毫米的對準和曝光點。該資產具有直觀的用戶界面,可輕松定制配方。該模型提供了一系列高級功能,如基板識別、曝光控制、板載等。集成模式識別軟件允許快速設置和控制非常復雜的「網格」曝光。SEMITOOL 870F設備還提供集成的光阻處理器。使用此功能,用戶可以在裝入系統之前自動清潔和幹燥塗有抗蝕劑的基板。這有助於減少浪費的光刻膠材料,提高吞吐量和準確性,並最大限度地節省成本。該裝置還被設計為能夠快速裝載和卸載基板，每個基板的最大裝載時間為0.3秒。它具有符合人體工程學的人機界面，可提高用戶舒適度。此外,集成的流程監控軟件可確保所有運行中的性能一致且可靠。總體而言，870F是一個強大和高度先進的光刻機完美的高精度光刻工藝。它提供了更高的時間效率和更高的吞吐量、高級功能以及最低限度的維護要求,從而最大程度地節省了成本。