二手 SEMITOOL 870F #178373 待售

SEMITOOL 870F是為提高半導體晶圓加工精度和效率而設計的全自動高性能光刻設備。該系統為先進的光刻膠開發和潔凈室集成提供了廣闊可靠的平臺。870F的設計具有很高的吞吐量,每小時可運行800次。這臺光刻機提供了一個波紋傳送裝置，可以處理200毫米大小的基板，可以在多個模塊上進行高效的同時處理。它采用柔性腔室配置完成，提供了應用各種工藝化學方法的能力，並含有無維持的靜態中和過濾器，有助於減少腔室內的汙染。此工具還具有高度符合人體工程學的設計。它執行各種細膩的操作，並配有一個光幕，以保護人們免受危險的光輻射。由於SEMITOOL 870F的設計多種多樣,因此可以輕松地與其他SEMITOOL過程模塊集成在一起,以實現全面的工程解決方案。此外,870F提供了多種安全功能,減少了生產過程中的停機和中斷。它能夠儲存多達4,000份食譜，提供確保最高質量產量的最佳工藝參數。使用功能強大且直觀的軟件進行改進,可以輕松研究、修改和存儲食譜。總體而言，SEMITOOL 870F光致抗蝕劑資產在廣泛的應用中促進了基板的先進開發和剝離。其多種集成技術簡化了集成和操作,同時提供了卓越的性能和可靠性。