二手 SEMITOOL 870F #293725516 待售

SEMITOOL 870F是一種用於半導體制造中薄膜沈積處理的光刻設備。它提供具有獨特自動化功能的卓越過程控制。該系統用途廣泛，具有各種可編程模塊，允許各種可定制的進程。870F非常適合各種光致抗蝕劑的需要,包括SiON蝕刻、PR去除、共面化和保護性大衣沈積。SEMITOOL 870F提供強大的過程控制功能,可消除各種工具到工具、膠片到膠片以及批量到批量的變化。它也是高度可編程的，允許精確的沈積模式和針對各種暴露時間和濃度的可自定義裝配。870F基於模塊化平臺接口（MPI）體系結構和預測建模技術,提供了改進的監控和診斷、更嚴格的預測以及更快的過程優化。該裝置采用先進的多室設計，其最通用的加工室配有架空淋浴頭式沈積頭、機械臂基應用機和兩個獨立的射頻（RF）基板熱源。它兼具氣體和液體兼容性，允許將氧化物、氮化物和金屬等多種材料沈積到各種樣本量和形狀上。SEMITOOL 870F還具有集成的晶圓指紋識別器,使其能夠識別特定晶圓的晶圓幾何形狀、基材類型和材料組成。這使得流程更加可靠、高效和準確。它的高分辨率視覺工具能夠快速、精確地定位基板，以確保準確和可重復的處理。它還提供快速的安裝時間,高效的基板處理和匹配,以及方便的維護.資產可以以最短的轉移時間整合到任何現有的加工室中，整個室可以移動而無需重新鑒定。870F與SMIF和FOUP（前開口統一窗格）窗格兼容,因此可以輕松集成到各種清潔環境中。SEMITOOL 870F光致抗蝕劑設備具有高度精確的工藝控制、集成的視覺模型和快速的設置時間,是解決半導體制造環境中各種光致抗蝕劑需求的理想解決方案。