二手 SEMITOOL 870F #9268556 待售
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SEMITOOL 870F是設計用於在化學環境中處理半導體晶片的光刻設備。它配備了超光刻NanoFlex™技術的先進、進一步改進版本。870F是一種全自動、精確的半導體材料陣列化解決方案。通過集成過程溫度控制系統，提供了優良的模式質量和清潔區域均勻性。它能夠加工直徑達200毫米的晶圓,因此能夠快速、精確地制作從2 um到50 um的基材圖樣。SEMITOOL 870F提供了一個集成的高成本效益預對齊模塊。這個單元監控晶片位置和舞臺對準在預對準，以確保快速和精確的基板圖樣。它還能夠快速地從曝光室中裝載和卸載基板。870F光刻機使用兩個光資源進行曝光過程。Cadax VCP 30配備了3kW和6kW氙氣燈，使工具在曝光過程中具有靈活性。這使客戶能夠為半導體市場中最具挑戰性的過程調整曝光時間。SEMITOOL 870F中使用的NanoFlex™技術可實現精確的DUV光陣列,並能夠提供高級半導體工藝所需的精細線寬結果。它具有寬波長範圍的紫外線光源和激光照明資產，能夠在不需要暴露於外部光線的情況下進行光圖樣。根據潔凈室評級標準,870F設計用於10級潔凈室環境。它有一個創新的後開口檢修面板，由環氧樹脂和不銹鋼制成，以及其他抗腐蝕的部件。它包括一個保護性排煙管道，符合環保局和OSHA排放標準。SEMITOOL 870F是一種先進、魯棒的光刻膠模型，專為半導體加工而建。它為客戶提供了可靠、高質量的基板陣列設備,並具有快速的周轉時間,以實現快速高效的結果。
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