二手 SEMITOOL 870F #9268564 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
SEMITOOL 870F是一種光刻設備，用於在基板表面上繪制感光材料的圖層。它是專門為制造半導體元件和器件而量身定制的。該系統可用於創建各種類型的圖樣，如接觸開口、閘門電極開口、vias、金屬線條等。870F配備了一個數字成像單元，以準確和精確地渲染基板上的圖樣。該機集成了高分辨率數碼相機、高放大倍率光學器件和變焦機構，用於極精確的圖樣。相機可以設置在0.1微米到0.2微米的分辨率範圍內,x、y和z軸移動功能提供無限的精度。SEMITOOL 870F利用掃描級以X、Y和Z軸移動功能提供對曝光區域的精確控制。這樣可以精確控制陣列制作過程,從而確保精確、一致地形成所需的陣列。SCS-211C曝光工具集成了真空/壓力滑動卡盤自動基板夾緊和高精度模塊化差動驅動資產,最大精度為5nm,用於精確基板運動。870F還具有模塊化處理室,可為各種塗層和加工需求提供高度的靈活性。例如,它具有一個原位旋轉塗層/抗蝕性塗層室,用於將圖樣化材料施加到基板上。該腔室采用集成抗蝕劑旋轉臂、熱電偶、真空/壓力基板卡盤和具有自動速度控制功能的預置徑向旋轉頭驅動模型。SEMITOOL 870F是一種高效的光刻設備，為復雜的半導體器件制造和制圖過程提供經濟高效的解決方案。它的模塊化體系結構為各種工藝步驟提供了靈活性，其集成的數字成像系統實現了復雜結構的高精度陣列化。此外，其自動化特性和原位腔室系統提供一致的過程控制，確保設備的最大產量和輸出。
還沒有評論