二手 SEMITOOL 870S #293590456 待售

SEMITOOL 870S
製造商
SEMITOOL
模型
870S
ID: 293590456
晶圓大小: 6"
Dual stack SRD, 6".
SEMITOOL 870S是為先進半導體工業設計的全自動大體積光刻加工設備。該系統包含一個一百八十度線性自旋沖洗單元和一個三級化學模塊,以提供一致的、可重復的結果。本機設計用於光刻剝離、剝離清理、清洗、蝕刻和防腐塗層等應用。使用計算機控制的參數,SEMITOOL 870 S提供了用戶定義的程序,準確精確的ashing,清潔,和預清洗規格。870S提供了範圍廣泛的工作溫度,可在循環的不同步驟從50°C調整到150°C。溫度範圍的設計允許各種化學溶液用於不同的工藝應用。870 S使用先進的機械臂來裝卸條形托盤,其零件從一角錢大小的部件到較大的基板組件不等。該工具還具有CCD攝像頭,可以檢測和處理透明、彩色和不透明的組件。先進的機器人技術旨在提供高速差異化的快速船只交換。這可以改善光刻膠循環時間。SEMITOOL 870S是降低化學品成本和提高效率的一種經濟高效的方法。其先進的自動化和控制解決方案有助於減少操作和監控流程所需的時間和精力。此外,SEMITOOL 870 S具有三級化學性質,以保證所期望的結果。870S還具有內置故障安全資產,以確保高精度和可靠性。總體而言,870 S是為半導體行業設計的先進光刻膠加工模型。其高度自動化的設備和控制解決方案有助於減少操作和監控應用程序過程所需的時間和精力。SEMITOOL 870S提供廣泛的工作溫度和先進的機器人技術,用於快速交換容器.此外,其內置的故障安全系統和三級化學系統提供了可靠、一致和可重復的結果。
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