二手 SEMITOOL 870S #293830204 待售

SEMITOOL 870S Photoresist Equipment是一個先進、經濟高效的抗蝕劑自動化處理平臺。利用模塊化體系結構，SEMITOOL 870 S系統能夠處理多達8個300 mm晶圓和多種化學物質，提供了諸如自旋塗層、幹燥、軟烘烤、接觸、曝光和開發等工藝選擇。這樣就可以同時塗覆兩種或兩種以上的化學或工藝，提高吞吐量，並最大限度地減少對廢物的抵抗。870S設備可以為不同的應用和技術配置工藝配方。它的圖形用戶界面和從每個過程步驟中獲取的數據允許對所有機器組件和警報進行密切監視,從而有助於輕松進行警報管理和故障排除。870 S工具由廣泛的附件支持,允許對光刻工藝進行靈活多樣的處理。這包括負載鎖、4瓶、6瓶和8瓶套房，以及成像和檢查照明系統。此模塊化設計使用戶能夠根據各自的需求擴展或減少功能或流程。該資產的設計目的是減少加工時間,並幫助最大限度地降低汙染風險,同時提供精湛的工藝一致性,減少塗層分配,提高晶片負載的晶圓。使用直觀的過程程序指令和專用的分配軟件選項可以調整實際的分配速度和旋轉速度。SEMITOOL 870S還由於其機械設計、精確的自旋速度控制以及出色的液體工藝參數可重復性，為抗蝕膜提供了卓越的平面化。SEMITOOL 870 S模型的高精度模具附著技術允許在基板傳輸設備中進行精確的晶片載荷和索引，從而導致零件在晶片上的精確定位。總之，870S光刻系統是廣泛光刻應用的理想選擇。870 S具有強大、可靠和模塊化的體系結構,可提供全面的流程能力、靈活性和經濟高效的處理。