二手 SEMITOOL 870S #9165830 待售
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ID: 9165830
晶圓大小: 6"
Spin rinse dryers (SRD), 6"
(102) Digital controllers
Non-contact labyrinth rear bowl shaft seal
Brush-less motor
(2) Rotors per double stack
Electro polished bowl
Polypropylene cabinet: Aero style
Resistivity
Static eliminator
Color coded pneumatic lines
Documentation package
Particle counts: < 25 at 0.3 Micron
(17) Meg Ohm's DI water and class 1 N2.
SEMITOOL 870S是為半導體制造領域的高精度應用而設計的光刻設備。該系統利用先進技術提供卓越的準確性和可靠性。SEMITOOL 870 S提供了廣泛的功能,旨在最大限度地提高其性能。它由高速微處理器單元和能夠快速處理數據的高容量內存組提供動力。它配備了機械設計,可以精確放置元件,並在機器設置方面提供靈活性。該工具還非常註重自動化例程和針對復雜步驟的高度精確的標準配方。870S的一個重要組成部分是其化學特性,能夠提供出色的結果。這包括從主要供應商中全面選擇光刻膠溶液。該資產的模塊旨在與各種流程和機器輕松集成,允許用戶將其與現有設備一起使用。該模型也是高效一致的。它配備了自動化的工藝和流,可以進行精確的溫度管理和有效的光刻膠分布。用戶還可以存儲復雜的配方,減少塗料操作的時間和成本。此外,870 S支持一系列材料和工藝技術。它具有超精密晶片級,具有先進的特性,可精確沈積光致抗蝕劑.它還為具有挑戰性的任務提供了高級功能,例如高級材料沈積、溫度測量以及基板和塗層對齊。最後,SEMITOOL 870S采用低擁有成本結構進行設計。它幾乎不需要維護,而且以經濟實惠的價格提供高水平的性能。SEMITOOL 870 S具有一系列旨在提高其準確性和可靠性的功能,為制造商提供了一個可靠的解決方案來滿足其光刻膠需求。
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