二手 SEMITOOL 870S #9397638 待售

SEMITOOL 870S是一種用於加工和制造電子設備的光刻設備。它是一種遮罩對齊器，一種用於在平面基板層上創建圖案的儀器。光致抗蝕劑是光敏材料，在光束穿過的地方反應，允許某些區域的圖樣化。SEMITOOL 870 S由一個自動裝卸基材表、一個曝光源和一個步進器組成。曝光源具有固定的透明表面和石英照明器，這使得所需的圖樣能夠通過曝光曝光暴露在抗蝕層上。步進器允許在x和y方向上精確定位曝光源和基板表的運動。870S系統配備了允許特定模式定義的軟件。由於陣列是使用曝光源創建的,因此需要精確定位。這可以通過設備的自動特性來實現,6軸控件提供曝光源在X、Y和Z方向、俯仰、側傾和偏航中的運動,以實現遮罩的完美慢跑對齊。870 S還包括一個高速率金屬清潔功能，允許抗蝕劑去除和金屬顆粒蝕刻在基板上。這是通過使用高功率脈沖激光器以高速率完成的。這種強大的激光提供了快速和精確的抵抗暴露，從而使SEMITOOL 870S機器適合先進的應用。總體而言,SEMITOOL 870 S是一種高效的光刻工具,旨在提供精確的電子設備陣列。它便於用戶使用，具有自動化的裝卸能力、精確的定位、軟件定義的模式、高速率的金屬清洗以及使用高功率激光進行曝光。因此，870S是制造和加工電子設備的有用工具。