二手 SEMITOOL 880F #2366 待售

SEMITOOL 880F Photoresist Equipment是一個先進的半導體制造平臺,旨在以極短的周轉時間高效加工晶圓。該系統采用化學氣相沈積工藝，為光致抗蝕劑應用提供了最高質量的性能，如對準、細線圖案、厚膜沈積和薄膜塗層。880F具有簡單易用的界面,使操作員能夠輕松編程和管理其許多功能。它的過程控制軟件是專門為自動化生產序列而設計的，為用戶提供了要求最苛刻的應用程序的最佳精度和可重復性。霍尼韋爾流程解決方案包括在內,可提高流程的準確性和控制。SEMITOOL 880F配備了一個大型的鎖載室,可容納多達6個預裝150 mm或200 mm晶圓的盒子。預加載功能允許用戶通過在預期運行批處理的情況下加載多個框來減少非生產性時間。載荷鎖還具有端點規格特征，可精確控制腔室大氣和溫度。880F還通過使用特殊的氣動輔助板式氣泡裝置為用戶提供更高的熱精度。此外，SEMITOOL 880F還配備了精確的間隔時間控制快門，以保證光刻膠剝離過程的精確定時。此外，還可以為多個工藝罐配置880F，允許同時處理不同的光刻膠。此功能可減少周轉時間並提供流程靈活性。總體而言，SEMITOOL 880F是一種強大而高效的光刻機，可以幫助半導體制造商快速、經濟高效地加工晶片。具有自動化序列、改進的精度和控制以及提高的熱精度等功能,880F為用戶提供了光刻應用中的最佳性能。