二手 SEMITOOL 880F #84730 待售

SEMITOOL 880F是設計用於半導體制造的光刻設備。這是一個高端的濕式臺式系統，能夠處理標準和先進的光敏具有卓越的精度和均勻性。該裝置采用高分辨率成像機，並配有可容納高達880平方英寸晶圓表面的精密加工室。這種組合提供了實現高水平統一性以及更精確和可重復結果的能力。該工具還配備了最先進的數字控制資產，可以精確監測流程參數。這一控制模型包括一系列傳感器，並配備了基於軟件的集成反饋設備，後者對各種光刻膠應用過程提供精確可靠的控制。880F標配了一個四點對齊系統，提供精確的配準和解決方案之間的光敏溶液的精確交換。該單元支持大多數標準的光刻膠溶液，為長期使用而設計。此外，這臺機器還支持許多允許精確工藝優化的可選配件，例如溫度、壓力和塗層模塊。SEMITOOL 880F還配備了100級潔凈室兼容的安全殼和排氣工具。此功能可確保空氣中的微粒安全地從光致抗蝕劑工藝中除去。此外，與潔凈室兼容的資產由於空氣汙染減少而增加了流程收益。為確保長期運行和最大限度地提高操作員的安全，880F還包括安全功能。幾個集成的安全聯鎖作為標準配置在模型中。此外，還提供了一系列可調節的過程報警器，以保護光刻膠不受危險條件的影響。最後，設備還包括一個用戶友好的處理器，簡化配方設置和數據收集。該處理器可以方便地上載和下載配方以及從主機進行遠程訪問。還提供可選的圖形用戶界面,突出顯示意外結果的潛在原因。總體而言，SEMITOOL 880F是一個強大的光刻系統，能夠提供強大的過程結果。它提供了最高分辨率和最精確的結果，所有的安全特性都集成到了單元中。此外,此機器還包括幾個可選配件和一系列用戶友好的工具,以最大限度地提高生產效率。