二手 SEMITOOL 880S #293674902 待售

SEMITOOL 880S是為精確處理高分辨率設備而設計的最先進的光刻設備。SEMITOOL 880 S具有獲得專利的磁懸浮旋轉器，使系統能夠以超光滑、高效的方式處理基板。這允許應用，如圖樣，蝕刻，沈積，清潔，或剝離光刻膠薄膜。880-S有一個不銹鋼腔室和一個1.5 kV的電源來操作旋轉器。真空進料單元也適用於加工一系列抗蝕劑或非抗蝕劑材料。該機配有加熱的顆粒過濾器單元，設計用於保持清潔無塵的環境。該工具還包括一個自動晶圓檢查資產，用於在加工後檢查基板的質量。該模型有一個溫壓控制的光阻應用室和一個精度為+/-2弧秒的基板掃描檢流計。自動防腐應用設備能夠塗覆2至8毫米厚度的基板。SEMITOOL 880-S還能夠控制抗蝕劑的應用速度和厚度以獲得最佳產量。為確保加工周期的一致性，880S配備了集成基板檢測系統。該單元使用帶電耦合器件（CCD）攝像機檢查抗蝕劑應用的均勻性。本機設計用於檢測和校正任何有害的沈積在基板上的光刻膠。880 S工具還具有用於去除、燃燒和沈積晶圓表面的汙染殘留物和顆粒的預處理裝置。該設備具有高度精確的自動化預清洗工藝，可用於在應用抗蝕劑之前清洗晶片。SEMITOOL 880S配備了最先進的閉環過程控制資產,用於監視和調節應用程序周期的過程參數。模型還記錄了所有數據，並提供了對過程的實時全面讀出。此功能有助於在設備制造過程中最大程度地提高產量並減少誤差。SEMITOOL 880 S光刻膠設備非常適合任何需要高分辨率和高精度光刻膠薄膜的設備制造工藝。該系統旨在為各種流程提供性能、可靠性和靈活性。