二手 SEMITOOL 880S #293683353 待售

SEMITOOL 880S是一種可編程光刻設備，采用最新的電子和氣冷加熱元件和軟件設計。其優點包括在其工作室中具有出色的熱均勻性，以及對溫度、流速和抗蝕劑紡絲速度等定時參數的精確控制。在其核心，SEMITOOL 880 S由兩個截然不同的組成部分組成：一個光阻傳遞系統（PDS）和一個氣冷加熱反應堆（GHR）。PDS利用真空泵將抗蝕劑向下拉到不銹鋼圓盤上,該圓盤以受控速率均勻分布在圓盤上。這確保了光刻膠層的最高質量覆蓋範圍和均勻性。然後使用GHR加熱紡紗抗蝕劑，使溫度和停留時間等熱參數得到精確控制。880-S提供多種多樣的加工應用，可用於低溫和低粘度加工，如光刻和化學蝕刻，以及高溫和粘度類型的加工，如PECVD、PVD和HD工藝。該裝置的高效傳熱能力和高達1800°C的大溫度範圍允許各種生產級加工要求。此外，智能過程控制機（IPCS）允許對生產過程的每個階段進行精確和可靠的控制。IPCS有助於優化吞吐量,並支持針對特殊配方定制配置文件創建。此外,用戶還可以通過基於Windows的GUI訪問參數、配方和流程數據等功能,以及在軟件中創建特定於語言的流程指令。由於其先進的特性和多用途的設計,880S是各種生產操作的寶貴解決方案,可用於創建精確可靠的光刻膠元件。