二手 SEMITOOL 880S #38555 待售

SEMITOOL 880S是一種光刻薄膜沈積系統，設計用於半導體晶圓加工和無掩模光刻。它結合了高效的抗蝕器和掩模對準器、高性能薄膜蒸發源、石英晶體微平衡（QCM）和集成氣體管理，成為一個易於使用、緊湊的平臺。SEMITOOL 880 S是880系列中的頂級車型，完美用於半導體和光電行業。880-S可以在平坦和復雜的表面上精確地分配、對齊和應用光刻膠。高效、強健的分配技術即使在高速和極精確的情況下也能實現可靠的分配模式。880 S能夠輕松處理難以到達基板區域的問題。兩級掩模對齊器可確保抗蝕劑陣列與基板表面的精確對齊。薄膜沈積是由先進的蒸發源實現的，由壓力、溫度、沈積速率和氣體純度等全局可編程參數控制。該光源熱質量低，能夠有效地輸送具有均勻性、均勻厚度和改進膜性能的薄膜。此外，一個集成的石英晶體微平衡（QCM）提供了沈積速率的實時控制。SEMITOOL 880-S集成了先進的氣體管理系統，使預先設定的氣體和氧混合物能夠快速循環，從而優化了制造過程。該裝置運行安靜，減少汙染，提高工藝穩定性。880S也是高度可配置的,可以安裝到現有的處理工具上進行集成處理。總體而言，SEMITOOL 880S是一種非常高效、可靠且具有成本效益的光致抗蝕劑和薄膜沈積系統。它非常適合用於半導體、光電和研究行業。