二手 SEMITOOL 880S #9163494 待售

SEMITOOL 880S是一種光刻設備，旨在為各種應用提供可靠可靠的光刻處理。該系統能夠在基板和/或器件上進行單面和雙面薄膜沈積。該單元包括兩個截然不同的部分-預烤和曝光。機器的預烤部分由一個SEMITOOL 880 S熱板單元組成，它為晶片在應用光刻膠之前的預烤提供了一系列溫度設置。此外,該工具還設計了多種風扇設置,使用戶能夠調整預烤室中的對流力,以獲得均勻的晶圓溫度曲線。真空冷卻風扇進一步支持了預烘烤過程，有助於減少晶圓上的邊緣效應。曝光部分由一個880-S曝光單元組成，該單元裝有150W DUV（深紫外線）燈。該資產用於曝光晶片上的光刻膠層。可以在單面和雙面模式下配置此進程。對於單面曝光,模型能夠處理直徑不超過8英寸、厚度不超過20毫米的基板。對於雙面加工，設備能夠加工直徑不超過4英寸、厚度不超過10毫米的晶片。系統的整體性能由各種已整合到單元設計中的安全系統進一步提升。其中包括介電和金屬掩碼的自動關機功能,以及故障安全互鎖裝置。這確保了880 S光刻機在安全參數內運行，避免了設備損壞和對用戶的潛在傷害。總之，880S是一種先進的光刻工具，旨在為單面和雙面工藝提供精確、高質量的結果。此資產具有廣泛的功能和安全系統,是任何光刻應用的可靠且高效的選擇。