二手 SEMITOOL 880S #9170474 待售

SEMITOOL 880S是一種全自動光刻設備,專為濕工藝應用而設計.該系統設計用於塗層、烘烤和開發等多種光刻膠操作。它由兩個獨立的工藝模塊組成：一個濕工藝模塊和一個自旋沖洗幹燥模塊。濕法工藝模塊配有自動化學輸送裝置、加熱再循環機、手動紡紗機以及自旋沖洗和沖洗後的溶液。SRD模塊允許旋轉、沖洗、幹燥,以及零件的溶劑處理選項。濕法工藝模塊提供精確的化學品輸送和完整的工藝安全.它的自動化化學品輸送工具有助於對多達四種化學品進行精確計量，以加強過程控制。加熱的再循環資產可以加快化學品的周轉。手動旋轉器可手動旋轉,提供方便的零件放置。自旋沖洗和沖洗後解決方案確保適當的清潔和工藝後保護。SRD模塊配備了振蕩旋轉器、可調節噴嘴，用於精確清潔，以及用於幹燥的大容量排水托盤。自旋幹燥功能可確保徹底清潔並縮短加工時間。該模塊還具有溶劑處理選項，用於處理對水分敏感的部件。SEMITOOL 880 S是一種高效可靠的光刻工藝模型.它用戶友好,具有簡單的啟動和關閉過程。用戶友好的HMI界面提供流程配方管理,並支持報警記錄和故障排除功能。安全特點包括密封光敏容器、設備報警器和停機、防爆施工等。這個系統是一個偉大的選擇，任何人尋找一個高效的光刻單元。