二手 SEMITOOL 880S #9774 待售

SEMITOOL 880S Photoresist Equipment提供業界最高的精確度和精確度,專為在圖樣和平面條件下塗覆、曝光和去除光致抗蝕劑而設計。它是一個完全自動化的雙列系統，能夠支持多達八個卡帶負載。SEMITOOL 880 S提供化學儲罐和晶圓重鋪系統，提高了工藝的重復性和單元的可靠性。880-S光刻機由高溫高壓熱塗層站、耐火貯器和環境控制工作站組成。熱塗層站采用獨特的氣體混合技術，在單層或多層材料的大面積上均勻地應用光刻膠。抗蝕劑貯器能夠精確地放置和保留光刻膠，並提供高精度的自動化測量，以便在晶片上精確地使用光刻膠。環境室為過程增加了均勻性和穩定性，並配備了一個強大的空調工具，用於完全的環境控制。880 S還包括最先進的成像軟件,可快速準確地曝光光刻膠。該軟件可使掩模與目標保持一致,並對曝光過程進行優化控制,包括選擇曝光條件和參數。該資產還具有堅固可靠的後烘烤、試紙和顯影劑模塊，可提供準確、一致的光敏處理。880S的這些特點加在一起提供了卓越的準確性和可重復性，同時也減少了浪費和循環時間。該模型非常適合用於研發和大批量生產設施中的光刻應用。它可以在寬廣的溫度範圍內處理高化學電阻率的大規模抗蝕劑，確保優異的工藝效果。