二手 SEMITOOL 906-00119 #9160086 待售

SEMITOOL 906-00119是一種設計用於處理光掩模和其他光刻材料的光刻系統。它是一種全自動設備，利用各種光光傳輸、化學加工以及相關的前後處理功能，提供高質量的光掩模和工件。906-00119的核心是使用自動線性掃描儀進行光掩模或晶圓制造。掃描儀能夠沿線性級移動光掩模或工件，並將其暴露在高強度的紫外線光源下。此過程用於曝光光掩模或晶片上的光刻膠層。然後將暴露的光致抗蝕劑在濕化學過程中發展成所需的光掩模或晶片圖樣。除了線性級之外，SEMITOOL 906-00119光抗蝕劑系統還包括一個預處理室，用於在曝光前需要制備晶片的情況下進行顯影和回流。預處理室還采用了針對精確壓力水平編程的高壓噴氣脈沖和0.2微米脈沖對晶片表面光刻劑進行有效蝕刻。曝光、開發、蝕刻過程完成後，在906-00119單元進行後期處理。這包括清潔、烘烤和固化光掩模或晶片、除塵和塗上保護性塗層。這些後處理步驟確保暴露的光致抗蝕劑層留有少量殘留物。總之，SEMITOOL 906-00119是一種高度先進和獨特的光刻膠加工機，能夠為廣泛的應用創造高質量的光掩模和工件。其自動化的線性掃描儀、預處理室和後處理功能為光掩模和其他光刻材料的處理提供了高效可靠的解決方案。