二手 SEMITOOL 906-00329 #9160090 待售

SEMITOOL 906-00329
製造商
SEMITOOL
模型
906-00329
ID: 9160090
Controller PSC-102 for SEMITOOL SRD. Controllers are programmable Displays resistivity and spin speed.
'SEMITOOL 906-00329'是一種用於集成電路制造的光刻設備。它是一種光致抗蝕劑系統,能夠在基板上形成精密圖樣,而不會影響其整體的電氣和機械性能。光致抗蝕劑系統用於在矽晶片上創建電氣元件。906-00329允許用戶以高質量和高分辨率在矽片上創建所需的結構。它可以處理高達15 µm的高分辨率。它的操作範圍也很廣,介於-10 C和45 C之間。此外,它還能夠處理直徑從200 mm到300 mm'的基板,使其適合較大的基板。SEMITOOL 906-00329易於安裝維護,適合用戶和行業。它有一個內置的晶圓載荷微米導軌,以協助載荷和卸載基板。它還具有可調的卡盤和全方位的前後運動。此外,該裝置還配備了自動處理氣體切換能力,以提高靈活性。906-00329將紫外線和電子束光刻(EBL)結合用於其光刻機。它采用多通道曝光和開發過程,以優化性能和可實現的詳細解決方案。此外,該工具還具有內置晶圓溫度控制器,有助於保持晶圓表面上的均勻和受控溫度。總體而言,SEMITOOL 906-00329是在基板上形成精密圖樣的高效可靠的光刻膠資產。操作範圍廣,可處理高達15 µm的高分辨率。它還具有自動處理氣體開關、均勻散熱溫度控制器和晶片載荷微米導軌等先進功能,兩者相結合,確保運行平穩,效果可靠。
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