二手 SEMITOOL 9708 #293601757 待售

SEMITOOL 9708光刻設備是一種可靠且先進的系統,旨在提供半導體器件生產方面的卓越性能。它利用光刻工藝的最新技術進步，使圖樣能夠轉移到晶圓上。9708利用集成組件簡化了抗拒應用過程，減少了每個周期的時間，確保了卓越的可重復性。該單元是一個模塊化單元，由兩個截然不同的組件組成，即preclean模塊和resister應用程序模塊。預清潔模塊用於在應用前對晶片表面進行調節。該模塊使用空氣和氮氣進行脫氣和清潔晶圓表面。抗蝕劑模塊然後從加壓室中精確地應用光致抗蝕劑。該單元還包括一個可以在晶片上施加精確且均勻的抗蝕層的自旋軌跡驅動機。此單元的高級光學設計確保了設備陣列的最高分辨率。它使用多個鏡頭和先進的光學器件來捕捉設計的圖像，並針對任何不規則性進行調整。它還包括一個獨特的直接照明功能，提供統一和精確的曝光。自動分配控制功能可確保精確的抗拒測量,防止浪費和錯誤。該裝置還包括一個先進的基板溫度控制器，可確保在抗蝕應用過程中保持最佳晶圓溫度。另外，該單元還可以作為組合過程的一部分，旋轉多層光刻膠以實現復雜的器件陣列。SEMITOOL 9708光阻工具是生產高質量半導體器件的有效可靠工具。它的高級功能使用戶能夠快速準確地將設備的精確設計傳遞到晶圓上。此單元使用戶能夠始終如一地實現高分辨率圖像和精確的設備陣列。