二手 SEMITOOL ACMS-RTA #9267100 待售

SEMITOOL ACMS-RTA是一種光阻設備，旨在提高先進半導體器件的生產性能。它具有配置返工站（CRS）和電阻熱分析（RTA）單元。利用CRS,系統可以通過創建等方式準確、快速地調整模式大小等參數。該單元還提供了創建細線圖案的絕佳手段。ACMS-RTA的RTA單元使用無窗短波紅外（SWIR）發射器加熱烘烤、顯影、軟化和固化等光刻過程。這允許應用薄而均勻的抗蝕層,從而減少制造過程中的關鍵步驟。它還消除了對擴散爐的需要，該爐常用於光致抗蝕劑工藝。SEMITOOL ACMS-RTA提供了對溫度、加熱速率和光致抗蝕劑濃度的出色控制。這樣可以確保它符合給定應用程序的精確規範。此外,ACMS-RTA還具有一個直觀的用戶界面,該界面具有可針對特定應用程序定制的自動操作配置文件。它還提供過程控制評級（PCR）以確保可重復和可預測的結果。SEMITOOL ACMS-RTA還包括實時報警和與產量分析軟件接口等高級功能。這使計算機能夠檢測和警告用戶進程性能的變化,從而能夠快速響應任何異常。該工具還提供詳細的記錄和結果報告，這對於跟蹤和優化流程非常有用。ACMS-RTA是一種可靠、高效的光阻資產，非常適合生產先進的半導體器件。它提供了對溫度和光刻膠濃度等參數的出色控制,以及自動操作配置文件,以獲得快速準確的結果。此外,它還提供高級功能,如警報和日誌記錄功能,以改進產量分析。這確保了SEMITOOL ACMS-RTA是生產優質光刻膠層的理想選擇。