二手 SEMITOOL Alpha Raider #9160953 待售
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單擊可縮放
ID: 9160953
Wet processing system, 8"
Model: CP04MNSPD0801
Porous silicon
Process chambers:
Spray
Vapor
Immersion
Electroplating applications
Integrated into single cluster tool
Manuals and schematics
2009 vintage.
SEMITOOL Alpha Raider是為滿足半導體工業的嚴格要求而設計的光阻處理設備。它是一個先進的系統，旨在改進與新底物、清潔化學和抗蝕劑的兼容性。該裝置以專有的摻雜技術為基礎，能夠與多種光抗蝕劑一起工作。Alpha Raider采用了雄心勃勃的多步驟設計，其中包括可以調整到特定應用的各種參數，如薄膜厚度、均勻性、表面質量和抗蝕劑分布。它具有一個用於抗蝕劑應用的旋轉塗層機，它與高科技的側面掃描儀相結合，使抗蝕劑能夠在整個晶片表面實現均勻、均勻的塗層。通過快速輸送熱的惰性氣體,可以快速實現基板加熱.可以調整溫度以符合應用程序要求。SEMITOOL Alpha Raider還配備了獨一無二的雙噴霧噴嘴進行抗蝕處理，能夠在晶圓表面快速產生均勻曝光。AlphaRaider還具有先進的沖洗周期,可確保清除任何殘留的抗蝕劑。該工具還具有高速電子束和紫外線激光器的獨特組合，專門為原位圖樣設計。這允許單個基板的快速二極管模式。最後,SEMITOOL Alpha Raider具有精密的O2-plasma灰化資產,可用於精確的模式定義,從而實現更好的設備間重復性和更高的產量。總之，AlphaRaider是一種先進的光刻膠模型，它對各種參數提供了極大的控制，允許精確的陣列和設備可重復性。其先進的噴嘴設計、精確的溫度控制和高速處理，允許均勻性和提高產量，使其成為半導體生產的理想選擇。
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