二手 SEMITOOL Automotia LC-4+ #293642838 待售

SEMITOOL Automotia LC-4+是專門為半導體制造而設計的高精度光阻系統。它是均勻自旋塗層的可靠平臺，是半導體制造中的常用工藝。它也是精細復雜的光刻的絕佳選擇。LC-4+能夠以先進的精度控制旋轉速度、扭矩、時間和距離設置，使操作員能夠以現代半導體生產所需的高精度執行他們的任務。該系統具有高分辨率和多功能性的精密打印頭專利系列。它還為微調旋轉塗層工藝提供了三種速度，並為特別對溫度敏感的基板提供了低溫烘烤選項。Automotia LC-4+還允許直接連接到自動測試設備（ATE），該設備對系統參數提供更高級別的控制，以確保精密的光阻過程的準確性和可重復性。此外，LC-4+還支持多項高級安全功能，如板載警告系統和自我診斷功能。這些功能有助於減少在生產運行過程中出錯的機會,並確保結果盡可能接近規格。SEMITOOL Automotia LC-4+是可用於現代半導體制造的最可靠、最先進的光阻系統之一。具有高精度的旋轉塗層、ATE連接和安全特性，是要求高精度的生產工藝的理想選擇。它是高效環境的絕佳選擇,在這種環境中,過程必須得到控制和可重復,甚至可以將濕化學基準工藝自動化到生產水平。