二手 SEMITOOL / CALOGIC ST-870 #9265366 待售

SEMITOOL/CALOGIC ST-870是一種頂級品質、計算機控制的光阻設備，設計用於半導體工業中矽片的加工。它在準確性、可重復性和吞吐量方面提供卓越的性能。該系統設計用於處理大型集成電路（LSI）和內存芯片,其線路尺寸可達600um（微米）。CALOGIC ST-870具有用於晶圓處理的全自動平臺,具有一系列運動,包括幾百毫米的X-Y平移,並圍繞多個軸旋轉。它還包括專門的機械臂和夾具，使光致抗蝕劑在晶圓上的操作和載荷平穩。負載和過程周期完全自動化,完全可定制,以滿足客戶的特定需求。此外,還可以使用固定源或移動源設置設備。該機器包括一個先進的光刻膠分配單元，確保精確和可重復的流量。這是由先進的控制器輔助的，該控制器具有高度精確的線性步進電機，可確保晶圓在生產過程中均勻分散的薄膜塗層。控制器還允許軟化化學品的應用，以及用於後處理的沖洗循環。SEMITOOL ST-870配備了先進的、精密制造的雙噴嘴工具，可同時在晶圓兩側應用光刻膠。這一資產還能夠應用預處理化學品來處理水分和濕度的濃度。此外，該模型還采用先進的脈沖調制機制來控制滾頭的溫度及其相關電路，從而確保光刻塗層的適當圖案。設備還設有計算機化的PRI系統，允許操作員對整個過程進行編程和控制。該單元完全可編程，可用於調用幾個選項和功能，如變速、整體晶圓電阻和可變噴嘴尺寸。此外，這臺機器還能夠處理各種類型的玻璃和陶瓷基板的圖樣。ST-870專為高性能應用而設計,例如串聯制造、晶圓制造、生產測試和測量以及小型芯片的大規模加工。它是一種全自動工具,可確保可重復的準確性和長期性能。