二手 SEMITOOL / CALOGIC ST-870 #9265369 待售

SEMITOOL/CALOGIC ST-870是為矽片的高級處理而設計的頂級光刻設備。它使用高功率的紫外線步進器將圖樣暴露在晶圓上，然後可以使用專門的液體和工藝將其轉移到表面。CALOGIC ST-870能夠產生非常精確的圖像,使其能夠在復雜復雜的設備和電路的開發中發揮至關重要的作用。SEMITOOL ST-870的系統設計以5軸掃描表為基礎,該掃描表能夠同時對多達300個晶圓進行高速和低速掃描。它還配備了一系列先進的光束對準監視器，這有助於確保步進器在每次曝光前正確定位。這有助於確保即使是最復雜的圖像的最高精度。ST-870利用先進的掃描算法來提高圖樣打印的保真度,從而提高特征詳細程度和覆蓋範圍的均勻性。這項技術還有助於最大限度地減少暴露整個晶片所需的時間，提高生產率。為了達到最高清潔水平，SEMITOOL/CALOGIC ST-870具有一系列旨在限制顆粒物汙染的功能。它具有有效控制濕度水平的行之有效的能力，同時還提供出色的溶劑密封和現場化學回收功能。它的自動清洗過程也非常有能力，進一步幫助保持單元運行在峰值性能。除了成像功能外，CALOGIC ST-870還具有一整套計量和質量保證功能。其中包括自動缺陷檢查和審查,以及快速準確地生成測試結構以加快產量評估和故障排除的能力。綜上所述，SEMITOOL ST-870是為高精度器件制造而設計的先進光刻機。它結合了一系列先進的光學和掃描算法以及一系列清潔室和計量功能，使成像過程比以往任何時候都更快、更幹凈、更準確。