二手 SEMITOOL CDU-C2-01 #9093501 待售
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單擊可縮放
ID: 9093501
優質的: 1998
Chemical delivery unit
For spray acid tools (SAT Series)
Spray solvent tools (SST Series)
(4) Chemical tanks
(4) Separate chemicals
DI Water return
Supply connections
CDA (clean dry air)
Supply facility requirement: 90 PSI Max
N2 Supply facility requirement: 80 PSI Max
(6) Trebor magnum 610 diaphragm pumps installed:
Software version: CDU-402, 1.03
Full load current: 3A
Largest motor or load: 3 A
Short circuit interrupt: 3500 A
120 VAC, Single phase, 3-wire, 50 / 60 Hz
1998 vintage.
SEMITOOL CDU-C2-01是一種光敏設備，旨在為半導體制造設施配備高效可靠的光敏處理。它利用先進的機械和控制工程的最先進的組合，優越的光刻加工。該系統集成了一個高性能、大容量、真空式負載鎖定室和先進的掃描機器人單元，提供從晶片裝卸到過程模塊內移動的全機動性。自動化與腔室清洗能力相結合，每小時的總吞吐量到凈吞吐量可達20個晶圓。該機具有21英寸晶圓處理能力和自旋沖洗幹燥工藝等功能，可實現快速可靠的加工。另一個特點是通過反向自旋-自動中心循環優化了晶片的潤濕，這是第一次實現光敏加工。此外,還集成了高級自我診斷工具,以使操作保持峰值性能。此外，CDU-C2-01的自給自足性質也使得資產足跡很小。與其他生產系統相比,這減少了模型占用的空間。在安全性和可靠性方面，該設備為多個並行運行的機器人提供了安全可靠的環境。這樣可以降低風險並確保系統穩定性。所有這些功能結合在一起,使SEMITOOL CDU-C2-01無與倫比的性能。它是可靠、經濟高效的光刻膠加工的理想之選，可輕松融入任何現有生產線。
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