二手 SEMITOOL Cintillio #293653477 待售
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單擊可縮放
ID: 293653477
晶圓大小: 8"
優質的: 2012
Spray Solvent Tool (SST), 8"
Process: EKC / IPA
Double chamber, 8"
Bulkfill
Clampshell rotor
(3) Heated tanks
(2) Unheated tanks
(2) Tanks for EKC 265
(4) Tanks for IPA
CDU Cabinet
(280) Chambers / (50) Wafers
(2) Fume sensors
(5) LEVITRONIX Pumps BSM 4.2 / LC325
Fill vessel / metering pump
SECS GEM
Pump controller is missing
Power supply: 400 V+N+PE, 35 A
2012 vintage.
SEMITOOL Cintillio是設計用於半導體收費、封裝和組裝工藝的先進光刻設備。Cintillio是一個模塊化的自動化系統,包括調制的自上而下的旋轉塗層、自下而上的噴霧器和激光驅動的基板處理程序/聚焦單元。其高效的光阻塗層技術有助於產生精確的S-I-O互連、器件和鈍化結構。SEMITOOL Cintillio旋轉塗料從獲得專利的籃子平臺開始,該平臺允許通過旋轉或搖擺快速優化過程。它有一個專門設計的應用室，將光刻膠均勻地分布在整個基板表面上。其次是自上而下的自旋塗層，它創造了一個具有高膜完整性、工藝可重復性和全面積覆蓋的均勻抗蝕層。Cintillio還加入了自下而上的噴霧器，用於在底物的反面塗抹光刻膠。這樣可以在應用過程中控制和重復基板背面的抗性厚度和均勻性。激光驅動的基板處理器/聚焦機設計為在光刻塗層過程之後提供精確的光學聚焦。該工具將基板聚焦在具有可重復精度的註冊標記上，從而允許可重復的覆蓋精度。該模塊具有內置的多激光資產,可在一次運行中處理多個設備。該模型能夠在一系列晶圓尺寸和配置中進行光刻處理，同時提供可追蹤的基板跟蹤、過程控制和過程審查。SEMITOOL Cintillio設備靈活、高效,可實現快速、輕松的工藝優化。通過使用該系統，用戶可以在實驗室和生產中精確、重現地生產半導體器件。
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