二手 SEMITOOL CY-20 #9141284 待售

SEMITOOL CY-20光刻設備是一種通用的自動化工具，設計用於半導體、光電和醫療設備制造過程。CY-20系統采用開放式平臺,非常適合許多濕式臺式應用,如光刻、蒸發塗層和剝離,以及光致抗蝕劑的開發。它還具有一系列可幫助降低與半導體加工相關的成本和勞動強度的選項。該單元由四個主要組件組成：光刻機控制器、光刻處理器、沈積軌道和各種處理室。光敏工具控制器是資產的「大腦」，負責管理整個光敏加工過程。它處理配方、監視生產狀態、計劃和執行診斷測試,以確保準確的結果。光刻膠處理器負責將光刻膠化學物質從真空瓶轉移至裝置或模組噴嘴，並由單獨的外殼控制。沈積軌道是一個寬平的輸送機模型，它將基板輸送到所需的位置進行處理，它還容納位於腔室中的維修部件。最後，各種加工室負責進行實際的光刻膠加工，如預烘烤、噴塗/分配、蝕刻和後烘烤。這些腔室中的每一個都需要噴嘴和噴嘴，這些噴嘴和噴嘴可以很容易地調整以符合每個工藝的規格。SEMITOOL CY-20設備能夠生產各種具有最高精度的抗蝕劑結構。它可以很容易地與其他工具和工藝集成在同一個潔凈室中，如介電沈積、反應室利用、底物沈積。此外，該系統還允許簡單高效地去除基板或閥門部件上的殘余抗蝕劑，以確保一個優秀的成品。總體而言,CY-20光敏裝置使用戶能夠產生可靠、可重復的結果並降低勞動強度。該機由高度自動化的平臺組成，具有多種選擇，使其適合不同的濕式臺階應用。它與其他工具的輕松集成和集成過程控制也導致更快的周期時間和更高的收益率。SEMITOOL CY-20工具具有許多特點和功能，是任何半導體和光電制造商的絕佳選擇。