二手 SEMITOOL ECP LT210 Cu #9095392 待售

SEMITOOL ECP LT210 CU是為半導體工業的大規模生產而設計的光刻設備。它是加工各種光敏材料的綜合環境。它為光刻工藝提供了一個堅固、自動化的平臺，並允許精確的薄膜厚度和輪廓控制。該系統由一個硬件單元、一個鎖定負載端口和進程室以及相關的控制軟件組成。該工藝室包含一個定制設計的加熱/冷卻模塊，用於快速預烤和曝光後烘烤周期。該單元還包括一個位於中心位置的噴槍，精確控制光敏材料的曝光。噴槍使光致抗蝕劑霧化，並以均勻、一致的沈積物將光致抗蝕劑分配到晶片表面。此外,ECP LT210 CU還具有可編程旋轉電動機和卡盤,可快速高效地加載和卸載基板,以及觸摸屏控制面板,便於操作員控制和診斷。該機器還具有自動化的手動輸入功能,可進行快速配方更改和預測性維護計劃。總體而言，SEMITOOL ECP LT210 CU是一種可靠高效的光刻工具，非常適合半導體行業的大規模生產作業。它的集成環境提供了一個高度自動化的平臺,可確保一致的薄膜厚度和輪廓控制,以及精確的曝光控制和快速的配方更改。該資產還允許快速、高效的底物裝卸，便於操作和維護。