二手 SEMITOOL EQ23 #9287636 待售

SEMITOOL EQ23設備是設計用於制造半導體集成電路和其他微電子器件的光刻系統。它是一個基於軌道的自動化單元，具有一系列模塊，旨在為光刻膠和其他半導體制造工藝提供高通量的解決方案。EQ23臺機器采用模塊化結構設計，由兩個獨立的軌道組成。主軌道由四個工藝模塊組成，包括一個用於光刻膠加工的濕模塊、一個自旋漂洗幹燥機模塊、一個光刻膠條帶模塊和一個用於應用光刻膠的自旋塗層模塊。第二個軌道包括三個附加模塊：一個用於蝕刻的自旋蝕刻模塊、一個用於蝕刻後清潔芯片的清潔模塊和一個用於目視檢查的檢測模塊。該工具使用戶能夠完全控制所有材料傳輸和工藝功能,以及板載工藝參數調整。濕式模組包括一組用於光敏化學物質的儲層、一個用於光敏消減的塗抹器，以及一個介電加熱的淋浴噴嘴，以確保抗蝕劑圖樣的均勻性。自旋沖洗烘幹機模塊用於將抗蝕劑從基板上旋轉,然後使用帶狀模塊自動剝離剩余的抗蝕劑。自旋塗層模塊設計用於在基板上均勻沈積光刻膠，而自旋蝕刻模塊用於蝕刻不需要的金屬。清潔模塊的設計是在金屬蝕刻後徹底清潔基板，而檢驗模塊則是用來目視檢查加工模具的質量。該資產提供高效的生產與用戶友好的操作和可靠的性能。模塊化設計允許用戶修改或添加模塊，以滿足個別生產過程的需求，而車載過程參數的調整提供了一定程度的靈活性來優化過程。SEMITOOL EQ23為尋求半導體元件精密生產自動化光刻膠模型的用戶提供了必要的解決方案。