二手 SEMITOOL Equinox E0212 #70448 待售

SEMITOOL Equinox E0212是一種光刻設備，用於生產集成電路（IC）。它是一個功能齊全的系統，可支撐高達1.2 µm的抗蝕性臺階和小至12 m的特性尺寸。該裝置設計用於處理各種光致抗蝕劑化學物質，包括正光致抗蝕劑、負光致抗蝕劑、耐溶劑和深紫外線光致抗蝕劑。Equinox E0212配備了5軸塗層/顯影頭，可實現精確、均勻的抗塗層和開發。該機包括一個兩區，夾套，不銹鋼罐抵抗處理和一個批次級的工具，其余三個坦克。SEMITOOL Equinox E0212集成了先進的機器人技術，使其能夠處理高達318 mm x 318 mm的大型基板。該資產采用機電晶片提升和自動調平技術，以確保基板載荷的均勻性，並提供小至12 m線寬的生產水平產量。除了其功能外,Equinox E0212還旨在提高生產吞吐量。它支持多種高速過程，如直列攪拌、機電腔蓋和速度控制系統，以及清除控制模型，以盡量減少步進過程中的阻抗損失。該設備還包括用於校準和機器狀態監控的智能診斷能力。為確保用戶安全，SEMITOOL Equinox E0212配備了潔凈室監控、激光斷裂、有害物質管理系統等安全監控系統。該單元還包括緊急停止機，在危險情況或工具故障時啟動。總體而言，Equinox E0212是一種功能齊全的光刻膠資產，旨在以精確和高效的方式處理各種光刻膠化學。其先進的特點，如5軸塗層/顯影頭和機電晶片提升，使其能夠處理基板與壯舉生產水平的產量。它的設計也考慮到安全，包括若幹安全和監測系統。