二手 SEMITOOL Equinox #293590462 待售

SEMITOOL Equinox是一種用於制造高精度微電子元件的光刻加工設備。它采用先進的激光掃描系統，在每個產品的基礎上制造光刻膠面膜。該單元允許沈積的光致抗蝕劑在矽、金屬和其他半導體材料等基板上選擇性圖樣化，從而能夠產生0.5至25微米的細線幾何形狀。春分利用了專有的激光光刻技術。選擇的激光波長和光刻膠類型可以調整，以最大程度地減少過程中的線寬變化，同時保證產品的一致性和準確性。基板上的圖樣是用直徑為13.5nm的激光器完成的，產生了很好的光致抗蝕劑分辨率。激光掃描光學器件然後註冊其位置並繪制圖樣。陣列可以使用此機器以X、Y或Z軸方向移動。SEMITOOL Equinox為用於制造高精度微電子元件的光刻工藝提供了一個經濟高效的解決方案。其可靠性和可重復性使其成為微電子工業中的寶貴工具。用戶可以輕松地輸入所需的參數，激光掃描儀將以最短的時間準確地渲染設計。它還采用了一種熱控制技術，減少了光致抗蝕劑沈積的變化，從而使表面致密度很高。為了提高表面平面度，Equinox工具也可用於沈積後蝕刻。此過程通過提供輕快、均勻的抗蝕層和消除模式折叠來幫助創建平面化。最後,該資產配備了多種光刻膠輪廓監視器和控制選項,以確保在過程中和之後保持抗蝕劑的粘度,從而獲得最佳的最終產品。總而言之，SEMITOOL Equinox是在微電子工業中打造光刻屏蔽和圖案的絕佳選擇。其基於產品的掩蔽、變化的模型參數和高分辨率功能使其成為許多制造過程的通用工具。