二手 SEMITOOL Equinox #293646994 待售

SEMITOOL Equinox是一種光阻設備，用於多種應用，如自旋塗層、噴塗塗層、浸塗層和槽塗層技術。它旨在為用戶提供光刻塗層工藝的精確控制，即使在加工復雜基板時也是如此。Equinox有幾個關鍵特性可以將其與其他系統區分開。該系統的自動分配控制器可確保精確和可重復的光刻晶片負載。這減少了維護準確流程參數所需的時間和資源。SEMITOOL Equinox的另一個有用特性是其AutoClave技術，利用真空室和紫外線照射來幹燥和固化光致抗蝕劑。這樣就不需要額外的幹燥工藝，提高了吞吐量和使用時間。該裝置還采用了一種創新的槽式塗層頭，其設計目的是在高達1000 °C （1832 °F）的溫度下使光刻膠退火。除了這些功能外，Equinox機器還為用戶提供了優化其處理參數的靈活性，以便為其特定應用獲得最佳效果。諸如自旋速度、基板溫度和曝光時間等變量都可以調整以獲得所需的結果。該工具還附有多種配件，以增加其多功能性。例如，有一個自動晶片定心單元，以確保準確定位，以及用於噴塗應用的多個淋浴頭組件。由於其觸摸屏界面和自我診斷功能,該資產易於使用和維護。它還被設計為極其可靠，一次最多運行8小時，不會中斷。這使得它特別適合於自動化生產運行。此外，SEMITOOL Equinox是一個緊湊的模型，適合任何實驗室或公司的地板環境，因此可以很容易地集成到現有的流程中。最後,該設備提供全面的一年保修,並且價格有競爭力。