二手 SEMITOOL Equinox #293648582 待售

製造商
SEMITOOL
模型
Equinox
ID: 293648582
晶圓大小: 6"
優質的: 2010
Electroplating system, 6" Non-functional Single wafer process head design Material: Ni sulfamate plating (tank 1) and gold sulfite (tank 2) Gold sulfite is a non-cyanide solution Fountain plater with (2) Separate plating bath tanks and (2) SRD Heads (4) Heads Input cassette on left nest Output cassette on right nest Robot connection, non-functional Plating cell power supply CP2 Head, non-functional (2) SRD Chambers (2) Plating chambers DYNATRONIX PMC 102/1PR-20-30XR Power supply (P/N: 990-0296-212) Power supply: 208 V, 50/60 Hz, 40 A, 3 Phase 2010 vintage.
SEMITOOL Equinox是為半導體制造而設計的光刻設備。光致抗蝕劑系統用於半導體制造,在矽晶片上制造半導體材料層。Equinox系統具有自動化過程,可幫助加快生產速度並減少所需的人力。SEMITOOL Equinox能夠以高達每小時300毫米的速度處理四英寸或六英寸晶圓。它具有開放式平臺設計,允許用戶快速、輕松地將自定義軟件算法集成到他們的處理控制方案中。其軟件選項支持先進的光刻工具和技術,如步進和重復、圖像模糊和高級對齊。Equinox具有堅固的兩鎖晶圓傳輸單元。這提供了晶片與其關聯的掩碼之間的精確對齊。它還具有具有整體定心能力的雙級自旋卡盤,以便更好地處理晶圓。SEMITOOL Equinox也是為了可靠性和魯棒性而設計的,其車架由重型鋁和耐腐蝕部件構成。機器的軟件是為了確保準確性和可重復性而設計的。它運行在穩定的固態操作平臺上,提供實時的過程監控和分析。該軟件還提供最多五種基於用戶的控制方案,還提供宏文件生成和執行。Equinox的加熱器級提供精確的溫度控制,確保快速和準確的模式成像.該工具還具有可調節的狹縫,允許用戶調整其圖案。SEMITOOL Equinox支持標準模式算法和自定義腳本,並提供了根據客戶需求定制曝光的選項。該資產還被設計為提供最大限度的過程控制和統一性。它為流程的每個元素提供了一個單獨的控制器,使用戶可以輕松地監視和調整所有流程參數。Equinox還具有高級緩存模型,可最大程度地減少開發時間並提高工具利用率。總之,SEMITOOL Equinox設備是高通量半導體制造的可靠、緊湊的光刻系統。其自動化的工藝、精確的溫度控制、堅固的晶圓傳輸單元和先進的陣列選擇使其成為任何芯片制造需求的絕佳選擇。
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