二手 SEMITOOL Equinox #293659794 待售
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單擊可縮放
ID: 293659794
優質的: 2007
Electroplating system
Package: Plastic wrap
Dimensions: (L)1190 mm x (W) 775 mm x (H) 1235 mm
Dry film dimension:
Film width: 150~640 m/m
Membrane diameter: ≤ 4250 mm
Feeding section:
31.5 m/m, P= 76 m/m
Roller: Aluminium
Size (cm): 190 x 160 x 192
Temperature control: PID type S.S.R drive
Manual feeder
Temperature range: 120°C
Power supply: AC 220 V 1φ, 50/60 Hz, 3.5kVA
2007 vintage.
SEMITOOL Equinox是為先進光刻工藝而設計的光刻設備。Equinox專為微制造工藝而設計,是一個最先進的系統,可用於制造高度精確的半導體元件。SEMITOOL Equinox具有最新技術,包括用戶友好的觸摸屏界面和易於理解的菜單單元。這臺機器能夠進行快速、自動化的處理,在保持精確的光刻結果所需的超凈環境的同時,允許更快的制造時間。Equinox還提供了一系列功能,包括基板預處理、雙面塗層、粘合劑粘合、抗蝕劑和底部防反射塗層、旋轉塗層加工、軟烘烤、旋轉顯影、蝕刻、剝離和CMP(化學機械拋光)。光致抗蝕劑工具效率很高,需要極少的維護。其低成本的設備和高效的建築結構確保制造成本保持在較低水平。此外,該資產旨在促進快速加工和實驗室自動化,這對較小的生產批次特別有利。SEMITOOL Equinox光刻膠模型還支持包括金屬、薄膜、厚膜、聚酰亞胺和有機基板在內的多種基板。此外,抗蝕劑和基材被存儲在一個集成的存儲設備,使它容易和方便地訪問它們。除了基板、抵抗、清潔功能外,Equinox還設有實時自動對準攝像頭,可根據晶圓形狀或基板類型快速調整頂側或底側對準。這是通過頂置後表面光學照明相機和其先進的軟件算法相結合而實現的。總體而言,SEMITOOL Equinox光刻系統是一個創新和先進的光刻單元,旨在支持半導體元件的微制造過程。憑借其專業的功能、易用性和成本效益,這臺機器可以方便高精度元件和產品的生產。
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