二手 SEMITOOL Equinox #293797045 待售

SEMITOOL Equinox是一種光刻設備，旨在提高光刻工藝的生產率。它旨在簡化加載/卸載過程,減少手動幹預,並提供清潔室兼容性。它提供了一種小巧、經濟高效的工具，非常適合用於先進的半導體和MEMS制造商。Equinox具有創新的雙電平傳輸系統（DPTS）。此單元可同時裝卸工件,從而減少周轉時間並顯著提高吞吐量。該機還具有全自動基板和適配器處理功能,從而消除了手動幹預。該工具還與潔凈室兼容，並具有最先進的設計元素，以減少顆粒汙染。這些設計要素包括晶圓室之間的動態粒子隔離、密封晶圓轉移輸送機、氣泡晶圓載體。此外,該工具還配備了一個集成的受控外殼模塊（CEM）,該模塊可創建一個可防止汙染的封閉環境,並允許清潔室運行,而無需額外的空氣過濾。SEMITOOL Equinox還擁有用戶友好的液晶觸摸屏界面。其直觀的菜單結構可確保操作簡單,並提供比標準控制臺更大的靈活性。該工具配備了廣泛的標準配方庫，包括針對不同材料的優化工藝。Equinox提供了滿足半導體和MEMS制造需求的理想解決方案。它提供高生產率、出色的清潔室兼容性、用戶友好的操作以及靈活的過程控制。因此，它是一個理想的工具，在先進的織物光刻工藝。